檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "吸附".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="黃世欽"
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因微結構與靜電場的耦合(coupling)效應、靜電力的非線性、雜散電場(fringe field)、及微結構因殘留應力及應力梯度所產生的預變形(pre-deformation)等,使得靜電式元件的…
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摘要 因微結構與靜電場之耦合(coupling)效應、靜電力的非線性、雜散電場(fringing field)效應、及應力梯度(stress gradient)所產生之預變形(pre-deforma…